创微微电子半导体设备成功导入国内晶圆厂

近日，由创微微电子（常州）有限公司研发生产的8英寸Cassette-less清洗设备顺利交付至上海积塔半导体有限公司并开始验证阶段，运行情况良好。近期创微成功中标该客户后续10余台清洗设备订单，制程涵盖8英寸至12英寸。该批设备将用于集成电路前段湿法刻蚀、去胶、清洗以及后段金属刻蚀、有机物去除相关工艺，标志着创微在湿法清洗领域已达到国际领先水平。

创微微电子（常州）有限公司自2020年创立以来，先后推出4-8英寸全自动Cassette type清洗设备、8英寸全自动Cassette-less清洗设备及4-8腔Single tool清洗设备，成功导入青岛芯恩、成都德州仪器、上海积塔等国内头部芯片企业并获得重复性订单，取得了多项技术的重大突破。